SPIK1000A
應用
| HiPIMS高密度電漿 | |
| MF中頻電漿 | |
| BIAS偏壓 | |
| MAO微弧氧化 | |
| 常壓電漿 (搭配昇壓脈衝變壓器) |
形式
| SPIK1000A-03 (3kW) | |
| SPIK1000A-06 (6kW) | |
| SPIK1000A-10 (10kW) | |
| SPIK1000A-20 (20kW) |
說明
| SPIK1000A脈衝直流電源控制器可搭配各種具浮動輸出(Floating Output)之直流電源電源供應器，升級成為最先進的脈衝控制電源。 | |
| 藉由彈性的脈衝參數調整，提供你製程最穩定的脈衝電壓及電流輸出波形。 | |
| 類比式的控制面板及USER通訊埠，方便你手動及遠端控制。 | |
| 配合任意波形產生器(AWFG)，在限定的範圍內可自由編輯及輸出各種形式的脈衝。 | |
| 快速的電弧抑制功能，可減少因連續電弧造成的損壞。 | |
| 可連接一部DC作對稱式的雙極輸出，也可連接二部DC作非對稱的雙極輸出。 | |
| 藉由調整參數，控制實際製程中瞬間動能的新概念，提供你有更多的機會去獲得最佳化的解決方案。 |
特色
| 類比式的控制技術。 | |
| 最高頻率達50kHz。 | |
| 高脈衝功率輸出。 | |
| 獨立可調的ON/OFF時間參數。 | |
| 高速的電弧偵測及抑制，時間小於2μs。 | |
| 可切換各種輸出模式 DC+，DC-，UP+，UP-，BP。 | |
| 可搭配任意波形產生器，由外部觸發輸出不同形式的脈衝。 | |
| 通訊介面：USER |
主要產品
