SPIK3000A

應用

  • HiPIMS 高密度電漿
  • MFHiPIMS + MF高密度電漿+ 中頻
  • HiPIMS + DC 高密度電漿+直流
  • Bias 偏壓
  • 高功率脈衝並聯堆疊

形式

  • SPIK3000A-10 (10kW)
  • SPIK3000A-20 (20kW)
  • SPIK3000A-30 (20kW)

說明

  • SPIK3000A脈衝直流電源控制器可搭配各種具浮動輸出(Floating Output)之直流電源電源供應器，升級成為最先進的脈衝控制電源。
  • 提供你製程最穩定的脈衝電壓及電流輸出波形。
  • 提供「整合型自由脈衝模式控制器」(Integrated Free Pulse Pattern Controller)，使用者可依應用，彈性的調整控制參數
  • 由序列通訊埠可控制SPIK3000A，亦可整合至具標準工業通訊界面之控制系統
  • 快速的電弧抑制功能，可減少因連續電弧造成的損壞
  • 只可連接一部DC作對稱式的雙極輸出，但可並聯五部SPIK3000A作同步脈衝輸出
  • 藉由調整參數，控制製程中之瞬間動能，提供你更多的機會去獲得最佳的解決方案

特色

  • ARM處理器控制技術
  • FPPG(Free Pulse Pattern Controller)自由脈衝模式控制器。
  • 對稱式脈衝輸出。
  • 高速的電弧偵測，抑制時間小於 2μs。
  • 遠端控制通訊界面：Profibus ∕RS485。
    1.組觸發輸入
    2.觸發輸出
  • 可堆疊之高速並聯通訊界面。

主要產品