SPIK2000A

應用

  • HiPIMS 高密度電漿
  • MF 中頻電漿
  • BIAS 偏壓
  • MAO 微弧氧化
  • 常壓電漿 (搭配昇壓脈衝變壓器)

形式

  • SPIK2000A-03 (3kW)
  • SPIK2000A-06 (6kW)
  • SPIK2000A-10 (10kW)
  • SPIK2000A-20 (20kW)
  • SPIK2000A-40 (10kW)

說明

  • SPIK2000A脈衝直流電源控制器可搭配各種具浮動輸出(Floating Output)之直流電源電源供應器，升級成為最先進的脈衝控制電源
  • 藉由彈性的脈衝參數調整，提供你製程最穩定的脈衝電壓及電流輸出波形
  • 提供LCD控制面板及RS232、Profibus、USER等通訊埠，可手動及遠端控制
  • 配合任意波形產生器(AWFG)，在限定的範圍內可自由編輯及輸出各種形式的脈衝
  • 快速的電弧抑制功能，可減少因連續電弧造成的損壞
  • 可連接一部DC作對稱式的雙極輸出，也可連接二部DC作非對稱的雙極輸出
  • 藉由調整參數，控制製程中之瞬間動能，提供你更多的機會去獲得最佳的解決方案

特色

  • DSP數位控制技術
  • 最高頻率達50kHz
  • 高脈衝功率輸出
  • 獨立可調的ON/OFF 時間參數
  • 高速的電弧偵測，抑制時間小於 2μs
  • 可切換各種輸出模式 DC+、DC-、UP+、UP-、BP
  • 對稱式(單DC)∕非對稱式(雙DC) 脈衝輸出
  • 可搭配任意波形產生器，由外部觸發輸出不同形式的脈衝
  • 通訊介面：RS-232、Profibus DP、USER

主要產品