SIPP2000DUAL
應用
- HiPIMS 高密度電
- HiPIMS + DC 高密度電漿+直流
- HiPIMS + MF 高密度電漿+中頻
- HiPIMS + MF + Bias高密度電漿+中頻+偏壓
形式
- ( SIPP2000USB-10-500-D ( 2 x 5kW dc
- (SIPP2000USB-20-500-D ( 2 x 10kW dc
說明
- 二合一的脈衝控制器設計，直覺式的控制介面整合控制兩組脈衝通道，將兩組脈衝重疊組合後輸出，實現彈性多樣化的脈衝模式，是研發與特殊製程應用的最佳工具。
特色
- 2組同步的脈衝通道
- 直覺式的圖形控制介面(MCC控制軟體)
- 輸出模式：DC、UP+、UP- and BP
- 自由脈衝模式產生器(Free Pulse Pattern generator)
- 對稱式的脈衝輸出
- 高速的電弧偵測，抑制時間小於 2μs
- 4組同步觸發輸出
- 2組觸發輸入
- 各通道最高脈衝輸出電壓1000V
- 各通道最高脈衝輸出電流500A
- 整合控制兩部直流電源供應器
- 可修改為最高脈衝輸出電流1000A
主要產品
